制造平板显示器用分步重复光刻机
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其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置（制造平板显示器用的机器及装置）
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制造平板显示器用超声波清洗装置
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其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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其他制造平板显示器用的机器及装置
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主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置（掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle)）
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塑封机（主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备）
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引线键合装置（主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备）
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其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
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IC工厂专用的自动搬运机器人
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