空气泵或真空泵、空气及其他气体压缩机、风机、风扇;装有风扇的通风罩或循环气罩,不论是否装有过滤器:
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耐腐蚀真空泵(流量大于5m3/h,接触表面由特殊耐腐蚀材料制成)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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真空泵(抽气口≥38cm,速度≥15m^3/s,产生<10^4托极限真空度)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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能在含UF6气氛中使用的真空泵(用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式,可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵(专用于同位素气体扩散浓缩)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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能在含UF6气氛中使用的真空泵(耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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专门或主要用于半导体或平板显示屏制造的真空泵((P))
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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其他真空泵
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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手动或脚踏式空气泵
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:是否手动或脚踏;3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
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