真空泵（抽气口≥38cm,速度≥15m^3/s,产生<10^4托极限真空度）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀的鼓风机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种鼓风机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如微处理器、电信设备、自动数据处理设备或装置用等）;3:类型（如吊扇、落地扇、壁扇等）;4:输出功率;5:品牌（中文或外文名称）;6:型号;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀压缩机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种压缩机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
