微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）设备，具有以下所有特性：专门设计或制造的MPCVD设备，微波功率在10千瓦以上，且微波频率为915兆赫或2450兆赫。
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置（化学气相沉积装置(CVD)）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置（物理气相沉积装置(PVD)）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
气相色谱仪
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:原理;3:功能;4:检测对象;5:品牌（中文或外文名称）;6:型号;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
煤气、水煤气、炉煤气及类似气体,但石油气及其他烃类气除外：
煤气、水煤气、炉煤气及类似气体,但石油气及其他烃类气除外
水煤气、炉煤气及类似气体（石油气及其他烃类气除外）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:来源;3:签约日期;4:计价日期;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
