能在含UF6气氛中使用的真空泵（用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵（专用于同位素气体扩散浓缩）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
能在含UF6气氛中使用的真空泵（耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
吸气≥2m3/min的耐UF6腐蚀鼓风机（轴向离心式或正排量鼓风机,压力比在1.2:1和6:1之间）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如微处理器、电信设备、自动数据处理设备或装置用等）;3:类型（如吊扇、落地扇、壁扇等）;4:输出功率;5:品牌（中文或外文名称）;6:型号;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
其他≤120厘米的通风罩或循环气罩（指罩的平面最大边长不超过120厘米,装有风扇的）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:罩的平面最大边长;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
其他气密生物安全柜（符合世界卫生组织规定的生物安全水平三级标准,罩的最大边长≤120厘米）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:罩的平面最大边长;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
其他气密生物安全柜（符合世界卫生组织规定的生物安全水平三级标准,平面边长>120cm）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:罩的平面最大边长;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
螺杆空压机
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
MLIS用UF6/载气压缩机（能在UF6环境中长期操作UF6/载气混合气压缩机）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
吸气≥2m3/min的耐UF6腐蚀压缩机（轴向离心式或正排量压缩机,压力比在1.2:1和6:1之间）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
