制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机）
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其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）
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制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外）
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制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外）
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制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外）
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制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外）
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制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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制造平板显示器用分步重复光刻机
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