吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀压缩机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种压缩机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
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MLIS用UF6/载气压缩机（能在UF6环境中长期操作UF6/载气混合气压缩机）
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分子泵（气体离心机的静态部件，专门设计或制造的内部有已加工或挤压的螺纹槽和已加工的腔的泵体。）
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