耐UF6腐蚀的转动轴封（专门设计的真空密封装置,缓冲气体泄漏率1000cm3/min）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:结构;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
