其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）
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制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）
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制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机）
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其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:功能;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
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制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）
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