能在含UF6气氛中使用的真空泵（用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
能在含UF6气氛中使用的真空泵（耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀压缩机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种压缩机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
MLIS用UF6/载气压缩机（能在UF6环境中长期操作UF6/载气混合气压缩机）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
吸气≥2m3/min的耐UF6腐蚀压缩机（轴向离心式或正排量压缩机,压力比在1.2:1和6:1之间）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
压缩机进、排气阀片（用于制冷设备的）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（适用于XX品牌XX机或通用于XX机等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:材质;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
品目8414其他未列名零件
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（适用于XX品牌XX机或通用于XX机等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:材质;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
