以刨、铣、钻孔、研磨、抛光、凿榫及其他切削为主的加工中心,加工木材及类似硬质材料的
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加工木材等材料的研磨或抛光机器,含砂磨(加工木材,软木,骨,硬质橡胶,硬质塑料及其他硬质材料)
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绝缘调心球轴承(高铁电机用,绝缘电阻>1吉欧姆,直流耐压≥3000伏,额定动载荷≥210000牛顿)
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制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备(CMP)
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制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机(步进光刻机)
制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机(后道用)
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制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机(前道用 I 线光刻机)
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制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机(前道用氟化氪( KrF )光刻机)
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其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机
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制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机(步进式除外)
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