纸浆厂废料锅炉（蒸发≤45吨/时蒸汽水管锅炉）
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耐腐蚀真空泵（流量大于5m3/h,接触表面由特殊耐腐蚀材料制成）
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真空泵（抽气口≥38cm,速度≥15m^3/s,产生<10^4托极限真空度）
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能在含UF6气氛中使用的真空泵（用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在）
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专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵（专用于同位素气体扩散浓缩）
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能在含UF6气氛中使用的真空泵（耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体）
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专门或主要用于半导体或平板显示屏制造的真空泵（（P））
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其他真空泵
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