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能在含UF6气氛中使用的真空泵（用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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能在含UF6气氛中使用的真空泵（耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:抽气速率（m3/s或L/s）;6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀的鼓风机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种鼓风机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如微处理器、电信设备、自动数据处理设备或装置用等）;3:类型（如吊扇、落地扇、壁扇等）;4:输出功率;5:品牌（中文或外文名称）;6:型号;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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吸气≥2m3/min的耐UF6腐蚀鼓风机（轴向离心式或正排量鼓风机,压力比在1.2:1和6:1之间）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（如微处理器、电信设备、自动数据处理设备或装置用等）;3:类型（如吊扇、落地扇、壁扇等）;4:输出功率;5:品牌（中文或外文名称）;6:型号;7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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带有风扇的高效空气粒子过滤单元的封闭洁净设备（高效空气粒子过滤单元（HEPA）,罩的最大边长≤120厘米）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:罩的平面最大边长;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
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吸气≥1m3UF6/min的耐UF6腐蚀压缩机（出口压力高达500千帕，设计成在UF6环境中长期运行。这种压缩机的压力比为10:1或更低，用耐UF6的材料制成或用这种材料进行保护）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
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吸气≥2m3/min的耐UF6腐蚀压缩机（轴向离心式或正排量压缩机,压力比在1.2:1和6:1之间）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
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其他带有风扇的高效空气粒子过滤单元的封闭洁净设备（高效空气粒子过滤单元（HEPA））
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:品牌（中文或外文名称）;4:型号;5:GTIN;6:CAS;7:其他;
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平均温度>1000℃的耐腐蚀焚烧炉（为销毁管制化学品或化学弹药用）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途;3:加热方式;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
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耐腐蚀冷凝器（20平方米＞换热面积＞0.15平方米）
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途（适用于XX品牌XX机或通用于XX机等）;3:适用机型的制冷温度和容积;4:品牌（中文或外文名称）;5:型号;6:GTIN;7:CAS;8:其他;
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