用于光盘生产的金属母盘生产设备(具有独立功能的)
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六面顶压机设备,具有以下所有特性:专门设计或制造的X/Y/Z三轴六面同步加压的大型液压机,缸径尺寸大于等于500毫米或设计使用压力大于等于5千兆帕。
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微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)设备,具有以下所有特性:专门设计或制造的MPCVD设备,微波功率在10千瓦以上,且微波频率为915兆赫或2450兆赫。
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喷灌设备用减压阀(用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的)
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专用或主要用于半导体器件、集成电路或平板显示器制造设备用的气体流量阀(流量控制范围:满量程的2%100%)
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用金属材料的增材制造设备
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用塑料或橡胶材料的增材制造设备
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用玻璃材料的增材制造设备
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用石膏、水泥、陶瓷材料的增材制造设备
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用纸或纸浆的增材制造设备
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